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从大的方面来讲,晶圆生产包括晶棒制造和晶片制造两大步骤,它又可细分为以下几道主要工序(其中晶棒制造只包括下面的第一道工序,其余的全部属晶片制造,所以有时又统称它们为晶柱切片后处理工序) 晶棒成长 --> 晶棒裁切与检测 --> 外径研磨 半导体晶圆的生产工艺流程介绍 - 常用各类模板
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